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    專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|真空燒結爐|箱式高溫爐|管式電阻爐|氣氛燒結爐

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    高真空傾斜旋轉pecvd系統

    高真空傾斜旋轉pecvd系統

    高真空傾斜旋轉pecvd系統

    此高真空傾斜旋轉pecvd系統可混合1-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

    產品描述:
        此PT-PECVD是一種分體式管式爐,直徑60mm石英管,真空泵和4通道質量流量計氣體流動系統??苫旌?-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

    技術參數:

    型號

    PT-PECVD

    顯示

    液晶觸摸屏

    打開方式

    分體式和上部可打開

    限度溫度

    1200℃短時間

    連續工作溫度

    ≤1100℃

    升溫速度

    建議:0~10℃/min(最大20℃/min)

    溫區

    400mm

    加熱元件

    含鉬電阻絲

    熱電偶

    K型

    溫度控制
    精度

    ±1℃

    管尺寸

    OD60mm x 100mm x 60mm
    管長:1600 mm

    材質:石英管

    溫度控制

    通過SCR功率控制進行PID自動控制

    加熱曲線

    30步可編程

    真空法蘭

    不銹鋼真空法蘭帶閥、進出氣口
     磁流體密封旋轉接頭

    電壓

    220V,50Hz,單相
    (或根據您的要求)

    定制功能

    旋轉和傾斜
    傾斜角度:0-30°(建議:0-15°)
    管子轉速:0-10r/min
     
    通訊口
    通過計算機控制溫度、質量流量、轉速和真空泵。
     

    輸出功率

    5 -500W 可調,穩定性 ± 1%

    射頻頻率

    13.56 MHz ±0.005% 穩定性

    反射功率

    最大 200W

    匹配

    自動的

    噪音

    <50 分貝。

    冷卻

    空氣冷卻。

    渦輪真空泵

    極限真空2.7*10-3 Pa。

    型號:GSP-5

    抽速:6L/S

    輸入電壓:500W

    額定轉速(rpm):1800

    分貝(A):54

    型號:FF-620F

    抽速:600L/S

    額定轉速(rpm):27000

    軸承:陶瓷軸承注油量:150ml

    渦輪真空泵將被設計成帶輪子的推車。

     

    四臺精密質量流量計:

    MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm

    MFC 2&3:氣體流量范圍為 0~100 sccm

    MFC 4:氣體流量范圍從 0~100sccm

    一個氣體混合罐安裝在底殼上,帶有4個不銹鋼針

    底殼左側裝有閥門,用于控制4種氣體的混合


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