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    專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|真空燒結爐|箱式高溫爐|管式電阻爐|氣氛燒結爐

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    真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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    • 多種國家專利

      研發實力雄厚
    • 定制經驗豐富

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      客戶信賴的品牌

    定制CVD管式爐

    定制CVD管式爐

    定制CVD管式爐

    此定制CVD管式爐包含3大部分,第一部分為標準加熱,第二部分為真空泵系統,第3部分4 路質量流量計.

    產品介紹:

    第一部分:標準件加熱
    管式爐
    顯示 LED顯示屏(電腦控制)
    極限溫度 1200
    連續溫度       ≤1100℃
    溫區 150*200*150mm(3區)
    獨立溫控
    熱電偶 K型
    溫度精度  ±1℃
    管尺寸 160x 1000mm (OD x minimum L)
    150mm(ID±2mm) 厚度 5mm
      材質:石英管
    溫度控制 通過 SCR 功率
    控制進行PID 自動控制
    加熱曲線 30步可編程
     
    安全元件
    過溫報警 過流保護 開門時斷電
    熱電偶斷線指示

    真空法蘭
    一側為帶閥門的不銹鋼水冷真空法蘭,另一側為水冷鉸鏈式真空法蘭。
    包括氣動開關閥,與 PSV 和 MFC 相連(當壓力超過 1 bar 時,MFC 和爐子都應關閉,PSV 釋放
    高壓。
    三通閥 一個用于 KF25 真空閥
    第二個用于 1/8” 閥門
    第三個用于 1/2” 閥門(到鼓泡器)
    電源供應 380V 50/60Hz 三相
    輸出功率 基于最終設計

    第二部分 真空泵系統
    真空泵 VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+擋板閥
    真空度:-0.1mpa(相對壓力)
    第 3 部分 4 路質量流量計
      
    4路質量流量計(電腦控制)
    四個精密質量流量計:
    MFC1: 0 to 2000 sccm, Accuracy ±-1.5%FS H2 MFC2: 0 to 2000 sccm Accuracy ±-1.5%FS CO2
    MFC3: 0 to 2000sccm Accuracy ±-1.5%FS CH4 MFC4: 0 to 200 sccm
    精度 ±-1.5%FS Ar4 不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制 4 種氣體混合
    MFC 可在計算機上控制。
    混合氣體在流入爐管前會被預熱到100-200C。
    SS 螺旋管 

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