高溫真空CVD管式爐是一種特殊的高真空CVD系統，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD涂層、真空退火用的理想產品。
技術參數：| 套管 |
*雙層鋼制外殼，帶風冷。 *爐殼<= 60℃ |
| 加工管 | *材料：熔融石英管（外徑80 mm X長1000 mm，帶SS法蘭） |
| 工作溫度 |
*最高加熱溫度：1200°C *連續工作溫度：1100°C |
| 升溫速率 | 升溫速度：1-10°C / min |
| 加熱區長度 |
*總加熱區：440 mm *恒定溫度 區域：150毫米（±1°C） |
| 溫度控制 |
* LCD觸摸屏 *溫度精度：±1°C *熱電偶：爐內內置K型 |
| 真空面 |
一對不銹鋼真空法蘭（氣體和真空側），帶有： *一個機械壓力表（與MFC系統兼容） *兩個針閥（1/4英寸） *一個KF-25連接器，KF-25真空截止閥，KF-25 SS真空波紋管，帶橡膠O形圈的KF-25快速夾具，用于KF-25法蘭的可調法蘭支架（左右兩側-2個）等，用于高真空工位 |
| 高真空站結構 |
*最大限度。負載：頂部100磅 *高真空站控制面板（基本用于分子泵的速度和真空度）： *內部：渦輪分子真空泵站 ＃渦輪泵與后備泵，干式泵和石英管之間的所有連接，接頭和閥門符合KF-25連接規范的部分 |
| 真空度 | 6.7 * 10-3pa（在正常條件下） |
| 氣體流量控制結構 |
* 3個通道： ＃Controller-1：1-100 sccm ＃Controller-2：1-200 sccm ＃Controller-3：1-500 sccm *工作電壓：AC 220 V / 50 Hz * 7英寸彩色觸摸屏控件， *包括機械壓力表，針形閥，氣體管道，氣體混合罐，截止閥和配件等 *由316不銹鋼制成 |
| 系統總功耗 | 5千瓦 |
| 整個系統的額定電壓 | AC 220 V，單相，50 Hz |
| 定制的真空法蘭，帶有三個進料口，氣閥和機械壓力表 |
兼容80毫米石英管（以上系統），三個熱電偶穿通管（K型TC）-僅用于石英管內恒溫區的中心和兩端（用于PID / TC和實際常數之間的溫度校準）區域溫度）。在正常過程中將不使用本機。 特征： *由304不銹鋼制成，帶有雙重高溫硅膠O形圈。 *法蘭上安裝了三通，一閥和一機械表。 *穿通孔適用于帶K型電纜插頭的K型熱電偶的1/4“ OD外徑鋼管。 * 1/4”的管件用于在閥上連接額外的氣體入口或出口。 *組裝套件將密封外徑為80 mm的石英管。 |
| K型熱電偶 | 由3個校準熱電偶測得的溫度將直接顯示在管式爐的LCD觸摸屏上。 |
