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    高真空CVD管式爐

    高真空CVD管式爐

    高真空CVD管式爐

    高溫真空CVD管式爐是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD涂層、真空退火用的理想產品。

    產品概述:
       

        高溫真空CVD管式爐是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD涂層、真空退火用的理想產品。

    技術參數:
    套管 *雙層鋼制外殼,帶風冷。
    *爐殼<= 60℃
    加工管 *材料:熔融石英管(外徑80 mm X長1000 mm,帶SS法蘭)
    工作溫度 *最高加熱溫度:1200°C
    *連續工作溫度:1100°C
    升溫速率 升溫速度:1-10°C / min
    加熱區長度 *總加熱區:440 mm
    *恒定溫度 區域:150毫米(±1°C)
    溫度控制 * LCD觸摸屏
    *溫度精度:±1°C
    *熱電偶:爐內內置K型
    真空面 一對不銹鋼真空法蘭(氣體和真空側),帶有:
    *一個機械壓力表(與MFC系統兼容)
    *兩個針閥(1/4英寸)
    *一個KF-25連接器,KF-25真空截止閥,KF-25 SS真空波紋管,帶橡膠O形圈的KF-25快速夾具,用于KF-25法蘭的可調法蘭支架(左右兩側-2個)等,用于高真空工位
    高真空站結構 *最大限度。負載:頂部100磅
    *高真空站控制面板(基本用于分子泵的速度和真空度): 
    *內部:渦輪分子真空泵站
    #渦輪泵與后備泵,干式泵和石英管之間的所有連接,接頭和閥門符合KF-25連接規范的部分
    真空度 6.7 * 10-3pa(在正常條件下)
    氣體流量控制結構 * 3個通道:
            #Controller-1:1-100 sccm
            #Controller-2:1-200 sccm
            #Controller-3:1-500 sccm
    *工作電壓:AC 220 V / 50 Hz
    * 7英寸彩色觸摸屏控件,
    *包括機械壓力表,針形閥,氣體管道,氣體混合罐,截止閥和配件等
    *由316不銹鋼制成
    系統總功耗 5千瓦
    整個系統的額定電壓 AC 220 V,單相,50 Hz
    定制的真空法蘭,帶有三個進料口,氣閥和機械壓力表 兼容80毫米石英管(以上系統),三個熱電偶穿通管(K型TC)-僅用于石英管內恒溫區的中心和兩端(用于PID / TC和實際常數之間的溫度校準)區域溫度)。在正常過程中將不使用本機。
    特征:
    *由304不銹鋼制成,帶有雙重高溫硅膠O形圈。
    *法蘭上安裝了三通,一閥和一機械表。
    *穿通孔適用于帶K型電纜插頭的K型熱電偶的1/4“ OD外徑鋼管。
    * 1/4”的管件用于在閥上連接額外的氣體入口或出口。
    *組裝套件將密封外徑為80 mm的石英管。
    K型熱電偶 由3個校準熱電偶測得的溫度將直接顯示在管式爐的LCD觸摸屏上。

    高真空CVD管式爐
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