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    1200℃雙管CVD系統

    1200℃雙管CVD系統

    1200℃雙管CVD系統

    1200℃雙管CVD系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻

    產品概述:
    該系統是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。

    技術參數:

    產品名稱

    1200℃雙管CVD系統

    第一部分: 1200℃雙管CVD系統

    產品型號

    PT-1200T

    爐管尺寸

    雙石英管

    外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

    內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

    加熱區

    220+220mm

    供電電源

    230V,單相,50HZ

    功率

    4.0 kw

    加熱元件

    電阻絲

    升溫速率

    0-20°C/min

    熱電偶

     K型

    第二部分: 水冷系統

    法蘭

    1.水冷機 CW-3000

    2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.

    第三部分  真空系統

    真空系統

    1. 防腐數顯真空計   

    2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

    第四部分  混氣系統

    質量流量計

    量程:

    MFC 1: 0~10 sccm  

    MFC 2: 0~200 sccm  

    MFC 3: 0~10 slm  

    MFC 3: 0~10 slm  

    .......

    雙管CVD系統

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