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    專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|真空燒結爐|箱式高溫爐|管式電阻爐|氣氛燒結爐

    咨詢電話:180-3717-8440
    真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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    • 多種國家專利

      研發實力雄厚
    • 定制經驗豐富

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    • 十年業內經驗

      客戶信賴的品牌

    定制CVD系統

    定制CVD系統

    定制CVD系統

    產品概述: 該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料

    產品概述:
        該定制CVD系統是以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
    技術參數:

    產品名稱

    定制CVD系統

    產品型號

    PT-CVD-DZ

    立式管式爐

    爐膛模式

    立式開啟式

    爐膛材料

    進口氧化鋁耐火纖維

    加熱元件

    優質硅碳棒

    極限溫度

    1400℃

    工作溫度

    ≤1300℃

    升溫速率

    ≤20℃(建議:15℃/min)

    加熱溫區

    單溫區、多溫區

    溫區總長度

    200、300、440

    爐管材質

    高純石英管、剛玉管

    爐管直徑

    40、50、60、80、100mm......

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)  

    控制模式

    多段智能PID程序控溫  預留通訊接口

    控溫精度

    ±1℃

    溫度曲線

    多段"時間—溫度曲線"任意可設

    測溫元件

    K型熱電偶

    氣路系統

    工作電壓

    220V/50HZ

    最大輸出功率

    18W

    工作溫度

    5--45℃

    氣體通道

    可同時連接多種氣源

    流 量 計

    質量流量計

    A路量程  

    0~500SCCM

    B路量程 

    0~500SCCM

    C路量程  

    0~500SCCM

    .....

     .....

    氣路壓力

    -0.1~0.15 MPa

    截止閥

    不銹鋼材質

    氣體連接管

    1/4不銹鋼管

    數顯真空計及連接件

    數顯真空計  

    數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

          真空泵組(相關連接配件)

    真空泵

    真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ

    認證

    ISO認證、CE認證

    售后服務

    質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

    定制cvd系統
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