PECVD實驗室加熱管式爐可達到1600℃，精密溫度控制器將提供30段加熱和冷卻步驟，精度為+/- 1°C。該爐系統還包括一個耐腐蝕的皮拉尼電容膜片式壓力計，可對腐蝕性氣體進行真空測量。
產品應用：
PECVD實驗室加熱管式爐通過微波或射頻使含氣體電離的薄膜形成氣孔，在局部等離子體中形成，且等離子體化學活性很強，易于反應，在所希望的薄膜上沉淀出所需的薄膜，因此被廣泛使用高質量的SiO2薄膜，金剛石薄膜，硬質薄膜，光學薄膜和CNT等。
產品特點：
1.上下部結構，易于取放管子 ；
2.可編程和PID自動控制 ；
3.金屬按鍵或觸摸屏操作界面供您選擇；
4.進口節能箱材料；
5.爐膛采用雙襯里結構，中間有間隙隔離，即使爐溫高達1600℃，爐體表面仍可安全觸摸；
6.爐內裝有輸出電壓和輸出電流檢測表，可以看到實時加熱狀態 。
技術參數：
| 模型 | PT-1200PECVD | PT-1400PECVD | PT-1700PECVD |
| 最高 溫度 | 1200℃ | 1400℃ | 1700℃ |
| 工作溫度 | 1100℃ | 1300℃ | 1600℃ |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 | 碳化硅 | MoSi2 |
| 熱電偶 | K型 | S型 | B型 |
| 管材 | 高純石英 | 氧化鋁 | 氧化鋁 |
| 箱體材質 | 陶瓷纖維 | ||
| 加熱速度 | 0-20℃ | ||
| 溫度控制精度 | +/- 1℃ | ||
| 溫度均勻度 | +/- 5℃ | ||
| 額定功率 | 110-415V，50 / 60Hz | ||
| 等離子電源 | 200/300/500/1000瓦 | ||
| 氣體控制 | 浮子流量計/質量流量計 | ||
| 真空單元 | 旋轉葉片/擴散/渦輪分子泵 | ||
| 保證 | 一年有限保修（保修范圍內的消耗品） | ||
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可根據客戶要求定做更多 |
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