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    專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|真空燒結爐|箱式高溫爐|管式電阻爐|氣氛燒結爐

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    1200℃化學氣相沉積設備

    1200℃化學氣相沉積設備

    1200℃化學氣相沉積設備

    化學氣相沉積設備 由2或3.14O.D可選分流管爐,帶氣體混合罐的4通道精密質量流量計和高質量機械泵組成。

    產品概述:

    化學氣相沉積設備由2或3.14O.D可選分流管爐,帶氣體混合罐的4通道精密質量流量計和高質量機械泵組成。

    這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐是沉積薄膜或將納米線從氣態(蒸氣)變成固態的理想且價格合理的工具,其優點是:

    1.與常規CVD相比,溫度處理更低。

    2.膜應力可以通過高頻/低頻混合技術來控制。

    3.通過工藝條件控制化學計量。

    4.提供廣泛的材料沉積,包括SiOx,SiNx,SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)沉積。
     

    產品特點:

    1.爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維,有效隔熱 ,節能;

    2.進口加熱元件,大大提高其使用壽命,高密度進口氧化鋁管子,經久耐用,不易折斷;

    3.預留真空,氣路快速接口,可配合我們的真空系統或混合系統使用;

    4.超溫報警及停電,漏電保護,運行安全可靠。

    5.根據您的要求提供智能的空氣泄漏測試儀/氣體泄漏報警系統。


    化學氣相沉積應用:

    這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐廣泛用于1200℃下各種CVD實驗反應溫度,也可用于真空燒結,真空保護氣氛燒結納米材料制備,電池材料制備等研究領域。

    分體式爐 

     

    1200C化學氣相沉積機CVD爐

    輸入功率:208 – 240V AC,1.2kW

     

    最高1700°C 工作溫度<60分鐘

     

    最高1600°C連續加熱

     

    高純度石英管2“ OD x 1.7” ID x 39.4“長度 

     

    30段可編程精密數字溫度控制器

    8英寸(200毫米),單個區域。2.3英寸(60毫米)  

    溫度計

     

    1200C化學氣相沉積機CVD爐

       

          30段PID自動智能溫度控制

     

          溫度精度可達uo +/- 1C

     

          溫升迅速冷卻空冷或水冷系統

    真空法蘭和配件

     

    1200C化學氣相沉積機CVD爐

    真空法蘭套件由304不銹鋼制成。 

     

    左法蘭組件包括一個KF-25真空端口,兩個KF-25 

    快速夾緊。

     

    一個KF-25直角閥,一個KF-25真空波紋管,一個法蘭 

    支持1/4 OD  軟管接頭和針形閥。

     

    真空泵 

    1200C化學氣相沉積機CVD爐

    交流220V 50 Hz 1 / 2HP 375W

     

    2升/ S或120升/米 

     

    已安裝集油器(入口)和排氣過濾器(出口)。

    保證 

    一年有限保修,提供技術支持

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